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2024/01/20 15:46
磁控溅射的工作原理是指电子在电场E的作用下，飞向基片过程中与氩原子发生碰撞，使其电离产生出Ar正离子和新的电子；新电子飞向基片，Ar正离子在电场作用下加速飞向阴极靶，并以高能量轰击靶表面，使靶材发生溅射。在溅射粒子中，中性的靶原子或分子沉积在基...
2022/03/26 09:54
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2017/05/07 11:24
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2017/04/11 10:06
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2023/08/21 16:20
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