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热式气体质量流量控制器与热式气体质量流量计

更新时间:2017-04-13 15:59:02 信息编号:113811237
热式气体质量流量控制器与热式气体质量流量计
3500≥ 1台
  • 3500.00 元

  • 其它

  • 模拟信号

  • 流量计,控制器,气体控制,气体流量

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详情介绍

产品别名
气体流量及,流量控制器,混合气体控制,混气仪器
面向地区
品牌
其它
类型
模拟信号

热式气体质量流量控制器与热式气体质量流量计

气体质量流量控制器(Mass Flow Controller )/气体质量流量计(Mass Flow Meter)可以对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 电子工艺设备, 如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入; 以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器等。对产品性能和生产工艺的不断改进,质量流量控制器具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等特点。
满量程流量范围(N2) 5SCCM~20SLM
准确度 ±2%F.S.
线性 ±2%F.S.
重复精度 ±0.5%F.S.
响应时间 ≤30sec
流量输出信号 0~+5V
流量设定信号 0~+5V
电器接口 DB15 pin(连接器)
工作环境温度 5~45℃
工作环境相对湿度 40~60%
工作压力范围 0.05~0.3MPa
漏率 1×10-6SCCS.He
高耐压 3MPa
压力系数 ±1.5%F.S./MPa
温度系数 ±0.2%F.S./℃
本体材质 304,316,316L不锈钢(可选)
密封材料 氟橡胶,硅橡胶,丁腈橡胶,聚四氟乙烯
管道接口 Swagelok标准双卡套,连接管径φ6mm
电源要求 +15V,50mA;-15V,200mA
重量 流量计0.72KG/控制器0.88KG
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北京迈测仪器有限公司 7年

  • 气体质量流量控制器,气体质量流量计
  • 北京市通州区张家湾镇上店村418号

———— 认证资质 ————

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