ULVAC爱发科多级罗茨型干泵HR60平山贸易有售
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更新时间：2025-02-21 08:57:31 信息编号：011pptvd8134b0

￥30000	1-4个
￥26500	≥ 5个

价格：
30000.00 元
品牌：
ULVAC爱发科
用途：
增压泵
关键词：
ULVAC爱发科,多级罗茨型干泵,HR60,低中真空用真空泵

卫瑶

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详情介绍

ULVAC爱发科多级罗茨型干泵HR60平山贸易有售

产品别名	多级罗茨型干泵,低中真空用真空泵	面向地区	全国	品牌	ULVAC爱发科
用途	增压泵	泵轴位置	卧式	材质	不锈钢
加工定制	否	驱动方式	电动	输送介质	热水泵
性能	耐磨	叶轮吸入方式	单吸式	真空度	低真空度
类型	真空泵

ULVAC爱发科多级罗茨型干泵HR60 平山贸易有售低中真空用真空泵
ULVAC爱发科多级罗茨型干泵HR60 平山贸易有售
ULVAC爱发科多级罗茨型干泵HR60 平山贸易有售
通过高温领域的泵体均热化，实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出的一款泵。
高温区域均热化
实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出。
UR系列可比HR系列更加高温化。
氦气密封
通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构，非常安全。
瞬停对策
采取了1000msec以内瞬停对策。
出色的耐腐蚀性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。
通信功能
可读取与泵运转状态相关的数据、警告/报警履历。如果使用软件进行计算机通信，则可实现集中监控。
用途
CVD装置
蚀刻装置
灰化装置
ALD、ALH 等

型号 HR60 HR90 HR300 HR600 HR1200
使用泵干式真空泵 HR60 HR90 HR60 HR90 HR90
机械增压泵 - - PRC-003A PRC-006A PRC-012A
大
排气速度 50Hz m3/h
(L/min) 62(1030) 112(1860) 359(5,980) 653(10,900) 1,012(16,900)
60Hz m3/h
(L/min) 80(1333) 126(2100) 365(6,080) 701(11,700) 1,051(17,500)
到达压力 Pa 5 0.67
大排气压力
（吸入圧力）　大气压 *1
大排气压力
（吸入圧力） Pa 1~ 大气压
吸气口 (CE规格) VG50(KF50) VG80(KF50) VG80(KF80) VG100(KF100)
排气口 KF40
质量 kg 180 245 275 370 420
电源三相 VAC
(Hz) 200(50/60), 220(60)
电流值稳定时 A 7.1
(at 200V) 11.2
(at 200V) 7.8
(at 200V) 12.9
(at 200V) 15.4
(at 200V)
大值 A 7.3
(at 200V) 11.8
(at 200V) 8.1
(at 200V) 13.8
(at 200V) 18.9
(at 200V)
冷却水一次圧力 MPa 0.1~0.3
冷却水出入口压差 MPa >0.1
冷却水流量 L/min >5.0
吹扫气一次压力 MPa 0.1~0.5
二次压力 MPa 0.05~0.1
N2吹扫轴 SLM 5
气镇 SLM 0~45

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