半自动探针台

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半自动探针台

型号 SCG-O-2 SCG-O-4
外形 1500*1200*800mm 1900*1400*900mm
重量 300KG 350KG
电力需求 AC220V,50~60HZ
样品台 尺寸 2inch 4inch
样品固定方式 真空导热硅脂/弹簧压片
样品台移动 2*2inch，电动 4*4inch，电动
样品台移动 1um 1um
正压环境 5个大气压
真空度 10^-3Pa
光学特性 显微镜行程 2*2inch 4*4inch
放大倍数 变焦：7:1分辨率5μm (放大倍数216X）或者选用金像显微镜（20X~1000X）
真空腔观察窗尺寸 2inch 4inch
CCD像素 50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字）
温控规格 制冷方式 液氮/液氦
控制方式 开循环手动/自动冷媒流量控制
控温范围 77K~480K/4.2K~480K
控温分辨率 0.001K
温度稳定性 4.2K ±0.2K 77K ±0.1K
373K ±0.1K 473K ±0.1K
823K ±0.2K(可选） 973K ±1.0K(可选）
常温到8K冷却时间 90min
8K到常温升温时间 90min
常温开始的升温时间 100℃ 150℃ 200℃
30min 50min 80min
加热电源 LVDC 低压直流
传感器 硅二极管
传感器数量 样品台，防辐射屏，探针臂各一个
功率 50W/100W/500W/1000W
点针规格 探针数量 2个/4个/6个
探针调节 真空波纹管外部调节，三轴机械手
点针精度 10微米/2微米/0.7微米
X-Y-Z行程 25mm-25mm-25mm
漏电精度 10pA/100fA
接口形式 三轴/SMA/K/光纤接口
软件功能 晶圆Map编辑
测试仪器加载
自动运动控制
视觉运动补偿
数据采集分析
参数一体化显示
应用方向 高低温真空环境下的晶圆测试，MEMS测试，材料测试，霍尔测试，电磁输运特性等



可选附件 防震桌
多级压缩制冷机
机械泵/分子泵组/离子泵
射频部件
Chuck运动装置
电磁铁系统/超导磁铁系统
温升级选件
真空升级选件
压力升级选件
客户特殊定制