供应爱德华油式真空泵维修保养iH600
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更新时间：2017-08-26 14:06:06 信息编号：127959229

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其它
用途：
其它
关键词：
干式泵,半导体真空泵

袁春贞

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详情介绍

供应爱德华油式真空泵维修保养iH600

产品别名	半导体真空泵,干式泵	面向地区	广东深圳	品牌	其它
用途	其它	泵轴位置	卧式	加工定制	是
驱动方式	电动	输送介质	热水泵	叶轮吸入方式	单吸式
真空度	低真空度

iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相，PN：A59020908
iH600 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相，PN：A59020945
iH600 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相，PN：A59020946
iH600 干式泵 230V，60 Hz，3 相，PN：A59020957
Edwards 半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。

Edwards iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。

应用

负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD

功能和优势

优化了设施消耗。
无需预防性维护。
悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
在节省电机功率的同时大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全。
整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。

峰值速度: 600 m3h-1
353 cfm
10000 l min-1
极限真空: 7 x 10-4 mbar
5.3 x 10-4 Torr
0.07 Pa
典型轴封氮流量: 4 slm
进气口连接: ISO100
出口连接: NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量: 240 l h-1
4 l min-1
重量: 415 kg
极限功率输入: 3.4 kW
电机额定功率: 6.1 kW
油容量: 1.43 l

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