Tempe™高温薄膜测量系统Tempe™薄膜测量系统

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薄膜测量仪器 >> 薄膜在线监测控制仪器 >> Tempe™高温薄膜测量系统 | Tempe™薄膜测量系统













产品编号：

8414101016




产品名称：

Tempe™高温薄膜测量系统 | Tempe™薄膜测量系统




规　　格：






产品备注：






产品类别：

薄膜测量仪器








产 品 说 明







Tempe™ 温度与沉积控制的高温薄膜测量系统是为高温应用的薄膜镀膜沉积过程控制而设计的，高温环境能够引起过多的速率噪声，导致过程控制产生严重的误差；而使用加热器构建的传感头，Tempe™高温薄膜测量系统能够在高温工作，使这个系统能够实现和保持在40-500ºC温度范围的任何温度。而且能够启动高温自动清洗“烘烤”程序，扩展晶振片的寿命，减少在连续过程环境中由晶振片故障引起的工作中断。这在各种各样的情况下都是非常有用的。



“OLED需要的层厚，但因为没有温度补偿，器件性能受到直接的影响。在经过积极的前期试验之后，我们现在即将在我们持续地进行OLED生产过程中采用Tempe™系统。这个新的传感器系统将有助于加速我们对OLED主要材料的研发时间，用于OLED显示和用户照明”--Novaled GmbH工程部的负责人Kai Gilge如是说。



作为Tempe™ 系统的一部分，Eon™控制器是薄膜厚度控制器。在这个控制器中，一个分辨薄膜沉积控制系统被安装在紧凑的模块中，由这个公司开发的软件经个人电脑操作控制器或由该公司备案的RS232协议控制。

通过使用特的温度补偿系统稳定自动加热的温度，Tempe™和Eon™能够进行实时的温度测量和温度控制。把 Tempe™传感头与Eon™控制器、Mirage™空气冷却系统和 HT™石英晶振片结合在一起，由我们现有的传感器和过程控制技术则呈现一个的突破。



特点：

● 双通道扩展能力

● 技术提高在工业环境的可靠性和耐久性

● 温度补偿：保持晶体温度在设定温度的 +/- 1°C

● 温度可控的传感头、包括加热器、空冷系统和嵌入式热电偶(如果需要，挡板可选)

● 拥有加热器、热电偶、晶体控制、空冷管道及可选快门连接器的KF或ConFlat真空法兰

● 基于电脑的立薄膜厚度监测/控制器，拥有完整的温度测量和加热器控制，实时报告生长速率、生长厚度和晶体温度数据

● Mirage™ 空冷系统能提供达到28ºC冷空气，低于送风温度

● Tempe™系统包括所有的连接电缆、远程振荡器、便于使用的个人电脑软件、快速启动指南和仪器使用手册



技术参数




Measurement




Frequency Resolution


0.001 HZ @ 6 MHz (1 sample

per second)




Sample Rate


100 Hz - 10 Hz (10 ms - 100 ms)




Display Update Rate


10 Hz - 1 Hz (10 ms - 100 ms)




Sensor Crystal Frequency


6 MHz




Electronics




Temperature


2x TC Type K




LED(s)


Dual status




DB9


2x relays SPST (programmable) N.O.




DB37


Heater control connector




Source Power Supply Signal


0-5v DC source controls (2)




Sensor Head Input(s)


High resolution inputs, accurate

up to 0 .001 Hz (2) BNC




Thermocouple Input(s)


Type K thermocouple inputs;

resolution 0.1°C (2)




Sensor




Sensor Communications


2 BNC connections




Source Power Supply Signal


0-5v DC source controls (2)




Heater Composition


Aluminum nitride with tungsten traces




Power Cable Composition


Silica ceramic braided nickel wire




Temperature


K-type TC (2)




Sensor Composition


Body: 304 SS (stainless steel)

Insulators: Alumina

Contact springs: Inconel

Screws: 304 SS (stainless steel)




Vacuum Rating


1X10E-8 Torr

1.32E-11 atm

1.33E-6 Pa




Communications




RS-232 Communication Compatibility


Yes




RS-232 Baud Rate


115200 Baud




Communications Protocol


Communication status

Power-up status

RS-232 (Communications manual available online)




Software




Thickness


Auto ranging: -999 to 9999.9 kÅ




Rate


Auto ranging -999 to 9999.9 Å




Power


00.00 to




Crystal Health


00 to




Number of Processes


100,000+




Number of Layers


100,000+




Manual Power Control


Yes




User Labeled Process


Yes




User Labeled Films


Yes




Shutter Delay


Yes




Software Control Loops


PID




Data Logging


Yes




User Language


English




Dimensions




Tempe™ Sensor


•Head: 0.56” X 1.18” x 1.18”

•Body length: 4” to 30” depending on customer

requirements

•Head width: Can be passed through a KF or ConFlat port with an inner diameter larger than 1.377” (35 mm)




应用：

● 原子层沉积 (ALD)

● 化学气相沉积 (CVD)

● 分子束外延 (MBE)

● CIGS (薄膜太阳电池)

● OLED (显示及照明)

● 多层光学薄膜沉积