半导体设备精密光栅反馈光栅尺
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更新时间：2021-10-09 11:06:02 信息编号：159862859

￥1

≥ 1个

价格：
1.00 元
品牌：
MicroE
产地：
美国
关键词：
半导体,精密光栅反馈,光栅尺

刘帅

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详情介绍

半导体设备精密光栅反馈光栅尺

产品别名	光栅编码器,光栅尺	面向地区	上海	品牌	MicroE
产地	美国	产品认证	IOS9001	加工定制	否
计量单位	件	售后服务	店面三包	额定电压	6V

精密光栅反馈是半导体设备上的重要器件，反馈工作台的速度位置信息。
光栅编码器、光栅尺现货供应上海及上海周边地区，1微米、0.5微米、0.1微米分辨率。

规格
尺寸： 35 x 13.5 x 10.2 毫米
接口: A-quad-B数字接口或1 VPP正弦/余弦模拟接口
分辨率：
（传感器头
中插补）
5 微米 – 20纳米（线性）
精度等级： +/- 1 微米（线性玻璃）
+/- 3 微米（线性金属带）
输入电压： 5 伏直流电
电源电流： 220毫安，120Ω同时适用于 A, B, I
170毫安，120Ω，适用于正弦/余弦，IW
大速度： 5米/秒
零位： IW适用于模拟和5微米数字
LSB适用于2.5 微米以上数字接口
输出：正弦/余弦或A-QUAD-B、零位、限值（2）、
警报
状态LED指示
灯：是
操作环境：大气
栅距： 20 微米
可重复性：（磁
滞） < 1 LSB
典型的细分误
差（SDE）： <20纳米RMS
重量： < 15 克传感器头，< 30 克/米电缆
光栅兼容性：线性

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