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科探仪器设备供应控制型质量流量计高灵敏流量计

更新时间:2020-07-16 10:31:02 信息编号:167518813
科探仪器设备供应控制型质量流量计高灵敏流量计
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  • 科探仪器设备

  • 智能气体配比控制系统

  • 气体供应流量计,控制型质量流量计,高灵敏流量计

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详情介绍

产品别名
气体配比器,质量流量计控制器,气体配比器,质量流量计触摸屏
面向地区
全国
品牌
科探仪器设备
类型
智能气体配比控制系统

科探仪器设备供应控制型质量流量计高灵敏流量计

用途和特点
质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为 MFM)用于对气体的质量流量进行精密测量;质
量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为 MFC)用于对气体的质量流量进行精密测量和 控制。它们在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真 空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 电子工艺设备, 如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入; 以及真空镀膜设备、光纤熔 炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。
D07 系列质量流量控制器和质量流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启 动、稳定可靠、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作), 其操作使用方便, 可任意位置安装, 并便于与计算机连接实现自动控制

联系电话:
手机/:152 8682 6848

联系人:李工
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