厂家气体泄露质量流量计氩气质量控制器氮气质量流量计
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更新时间：2020-12-03 17:29:55 信息编号：171295787

￥35000

≥ 10个

价格：
35000.00 元
产地：
上海
规格：
其它
关键词：
氮气质量流量计,氧气流量计,氢气质量流量控制器,二氧化碳流量计

刘小姐

15301979852

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详情介绍

厂家气体泄露质量流量计氩气质量控制器氮气质量流量计

产品别名	微小气体流量计,小流量控制器,热式质量流量计,微型流量计	面向地区	上海	产地	上海
规格	其它	加工定制	是	额定功率	10W
额定电压	3V	用途	长度	工作温度	0-45℃

用途与特点

质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、是有工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。

主要技术指标

1

量程范围

（0~5，100...）SCCM

（0~1,2,3,5,10, 50,2000） SLM

2

准确度:+1.0%F.S

3.线性:+0.5~1.5%F.S

4.重复精度:+0.2%F.S

5.响应时间:电特性：10sec 气特性：（1~4）sec

6.工作压差:（0.1~0.5）MPa

7.耐压:3MPa

8:工作环境温度:0~70℃

9。数字量：RS485 MODBUS协议

10。模拟量：DC 0~5V ，4~20mA 可选

11。供电：DC +15V/24V 可选，流量计＜400mA，控制器＜600mA

12。电气连接：DB15

13。漏率：1×10--8SCCSHe

14。底座材质：316L不锈钢

15。密封材质：氟橡胶，丁晴橡胶，氯丁橡胶

16。气路接头：Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞</a></a>

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