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直流等离子电源系统DCPS系列

更新时间：2019-11-19 11:30:02 信息编号：206478162
直流等离子电源系统DCPS系列
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  • 直流等离子电源,等离子电源系统,真空镀膜,等离子化学沉积

梁雅娟

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产品别名
等离子系统,真空镀膜制程,溅镀制程,化学沉积
面向地区
类型
其它

直流等离子电源系统DCPS系列

产品功能
符合等离子特性的电气规格
具备定功率，定电压，定电流
内建电弧保护功能
内建过电压，过电流，过热，过载等保护功能
可用于单双火线的等离子系统
PLC 使用者介面相容于 AE-Pinnacle 或 ADL-GSW (择一)


产品特色
数位控制系统
设定范围广
高等离子密度
可客制化洽询


应用产业
真空镀膜制程之清洗处理
等离子辅助化学沉积制程
等离子辅助溅镀制程
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