LFIX多通道气体定量控制仪

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LFIX多通道气体定量控制仪

LFIX 多通道气体定量控制仪
产品概述 LFIX 多通道气体定量控制仪 是一款、快速响应、高稳定性
产品 ， 本产品 以 热式气体质量流量流量控制器 为主要执行元件 ， 气
体质量流量控制器 利用气流流过毛细管 ， 改变毛细管温度分布 ， 造
成上下游温差方法 ， 从而测得气体的质量流量 。 其流量精度不受气
体压力 、 环境温度影响 ， 由于上下游温差总是实时反映气体瞬时流
量 ，用 使用 PLC 与流量控制器通讯实现流量控制功能 ， 可对通过气量
做实时流量监测控制及累积功能， ， 可实现达到累计值后关闭设备内
置电磁阀们切断气源。
本产品可以测量和控制绝大多数干燥 、 干净的气体 ， 可以应用在
围 量程范围 5mLn/min 到 到 3000Ln/min

流量控制 技术指标
成都LFIX 多通道气体定量控制仪 是一款、快速响应、高稳定性
产品 ， 本产品 以 热式气体质量流量流量控制器 为主要执行元件 ， 气
体质量流量控制器 利用气流流过毛细管 ， 改变毛细管温度分布 ， 造
成上下游温差方法 ， 从而测得气体的质量流量 。 其流量精度不受气
体压力 、 环境温度影响 ， 由于上下游温差总是实时反映气体瞬时流
量 ，用 使用 PLC 与流量控制器通讯实现流量控制功能 ， 可对通过气量
做实时流量监测控制及累积功能， ， 可实现达到累计值后关闭设备内
置电磁阀们切断气源。
本产品可以测量和控制绝大多数干燥 、 干净的气体 ， 可以应用在
围 量程范围 5mLn/min 到 到 3000Ln/min 之间气体流量的测量和控制。
LFIX 多通道气体定量控制仪
满量程范围（N2） ） 5ml/min...3000Ln/min
量程比 器 控制器 50:1 计 流量计 100:1
精度 ± ±1.0%F.S / ±2.0%F.S
线性 ± ±0.5%F.S
重复性 ± ±0.2%F.S
响应时间 1S-4S
工作压差 0.3...0.7MPa
大耐压 3MPa
工作环境温度 5...45℃ ℃
泄漏率 1 ×10 -8 Pa.m 3 /s
输入输出 信号 0-5V/4-20mA/ RS232/RS485 MODBUS 协议
供电方式 24VDC
密封材料 丁晴橡胶 氟橡胶
接头尺寸 12mm 1/2” 3/4” 法兰 其他

应用领域：真空镀膜设备
半导体工艺设备
化学与化工实验设备
食品科学与工程设备
能源与环境保护设备
各种分析仪器设备
表面处理
真空冶金及材料工艺
高校及科研院所实验室设备

可定制功能：气体通道：1-16 路可选
介质：N2 O2 CO2 CH4 .......
报警：流量上下限报警 压力报警 累积量报警....
多段流速循环功能（1-20） ）
定时定量充气
流量时间设定
流量总量设定
其他定制功能............