联网无尘箱百级无尘箱光刻工艺无尘烘箱

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联网无尘箱 百级无尘箱 光刻工艺无尘烘箱
一、产品名称及型号：
1.产品名称：无尘烘箱
2.产品型号：CM-100 S350
3.无尘等级：Class 100；
4.含氧量：40min达100ppm以下；（预留氧含量测试孔）
5.温度范围： 常温～ +350℃；（客户工艺需要长期在300℃以上运行）
6.温度均匀度：±2% （空载）
7.升温速度：>5℃/min ，升温斜率可控，升温速度可以通过加热系统控制调节。
8.降温：风冷夹层降温，200℃～ 120℃，3.5度/分钟，120℃～ 65℃约1.5度/分钟。
9.电磁锁：启动设备运行中，电磁门锁锁门，运行未结束，人工不能开门。
10.电源：AC380V 3φ 50Hz，8.5Kw
11.设备型号：
型号 工作室尺寸（mm） 外形尺寸（mm） 加热功率 台数
CM-100 S350 W600×H600×D600 W950×H1510×D1340 8.5kw 1台
二、箱体结构：
1.烘箱由箱体部分、电器控制柜、电加热及风道系统组装而成，结构合理，外观美观大方。
2.全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电热产生器，防机台本身产生微尘。
3.箱体材料：外箱采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆，可防止微尘。
4.内胆材料：采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污 避免烘烤产生 PARTICLE。
5.中桶材料：采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污及氩焊密加工(防污染)。
6.保温材料:超细玻璃棉;
7.电热器:采用进口覆套式电热器 (SHEATHED HEATER)无尘化电热发生器。
8.洁净度:烤箱内部均采用无尘化配件及材料。
三、工作室的气流设计：
1.采用特殊设计，满足内腔Class 100洁净标准；
2.排气口：３"φ(附自动启闭风门)，以达到强烈循环效果而降温，排风加冷阱。
3.进气口：加附Ｎ２流量计控制进气量。入气口：10mm
4.压缩气体过滤器，可把气体过滤到CLASS 100，净化气体流量：300L/分钟。
四、可靠的测控系统
温控装置：智能控制系统,日本优易控
10〃TFT真彩触摸薄屏 
程式编辑：可预编120个程式，每个程式大可编99段，共1200段
历史数据查询(数据可以通过USB接口导出)
三点温度记录
五、完善的安全保护措施：漏电断路器//控制线路保险丝装置//超温防止保护装置//欠相保护//电热器过电流保护装置//马达电流过载保护//机台异常时蜂鸣器警示//门安全开关//三色指示灯
公司名称：上海旦顺实业有限公司
业务经理：蒋鑫; 手机号：
24小时服务热线：400-823-8860
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