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400l真空等离子清洗机设备 |
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真空等离子清洗机整个清洗过程大致如下:
1、将要处理的材料放置于真空腔体内,启动运行装置开始排气,让真空腔内的真空程度达到10Pa左右的标准真空度。一般排气时间大约需要几分钟。
2、然后向真空室内引入等离子清洗用的气体,并保持腔内压强稳定。根据清洗材料的不同,可分别使用氧气、氩气、氢气、氮气、四氟化碳等气体。
3、在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压,使气体被击穿并通过辉光放电而发生等离子化和产生等离子体,让在真空腔内产生的等离子体笼罩住被处理的工件并开始清洗作业,一般清洗处理持续几十秒到几十分钟不等,根据处理材质的不同而定。
4、清洗完毕后切断电源,并通过真空泵将气体和气化的污垢抽走排出,清洗结束。
二次污染。
等离子体清洗不会在表面产生损伤层,表面质量得以;清洗工作在真空环境中进行,清洗过程环保安全,不会污染环境,且有效清洗表面不会被二次污染。