8寸晶圆class100可联网封装无尘烘箱MES烘箱
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更新时间：2023-12-05 14:49:02 信息编号：ca2l98h263f9a4

￥35000

≥ 1台

价格：
35000.00 元
品牌：
旦顺
工作类型：
无尘可联网
关键词：
8寸晶圆无尘箱

蒋鑫

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详情介绍

产品别名	8寸晶圆烘箱,class100无尘箱,可联网封装无尘箱,MES烘箱	面向地区	全国	品牌	旦顺
工作类型	无尘可联网	规格	QMO	操作方式	自动
干燥介质	空气	加工定制	是	适用物料	晶圆
应用领域	半导体

8寸晶圆class100可联网封装无尘烘箱MES烘箱

8寸晶圆class100可联网封装无尘烘箱 MES烘箱
工厂系统，选择烘烤工艺，启动/停止烘箱；
2.> 工厂系统根据，过程判断待烤料件工位，记录反馈工位信息；
3.> 系统控制开/关门等动作；
4.> 系统记录并处理各种烘箱异常事件。如：超温，氮气不足，含氧量超标、门未关到位；
5.> 实施记录各种相关数据，如，温度，料件ID，工艺信息
智能烘箱主要参数介绍：
温度范围：室温+20℃～300/400/500/600℃
均匀度：±1.5%
洁净等级：Class10 Class100（洁净度要求可根据客户需求配置）
含氧量：<=20PPM 50PPM 100PPM 200PPM 1000PPM （含氧量要求可根据客户需求配置）
升温速度：常温～+600℃,升温速率：0~7℃/min，升温斜率程序可控
降温速度：降温斜率程序可控，500℃~300℃约3~5℃/min,300℃~120℃约1~3℃/min,120℃~65℃约0.5~1℃/min
控制系统优势介绍
控制系统工控电脑+欧姆龙PLC
权限给每个管理者、工程师、操作员立用户名和密码；
给每个操作者，自定义分配权限（如：启动，停止，调取工艺，调试，查看报表……）
记录当前操作者的所有操作记录；
控制方式切换本地模式由操作者，创建工艺、选择工艺、执行；
远程模式客户系统发送运行工艺指令。支持：MES, SECS/GEM (其他系统，可沟通开发)
数据信息(数据信息可以存10年以上！) 运行工艺信息记录
运行数据记录（如：温度、时间、含氧量、气体流量、压力……）
事件记录（开/关门事件、运行/停止事件、报警事件、故障事件）
通讯记录（与客户系统通讯记录）
操作记录（操作者操作记录，如：登录，注销，故障处理……）
故障信息显示通讯故障
加热断线
循环风机故障
气体管路故障
异常处理上偏差报警、下偏差报警、上偏差报警停机、上限报警、上限报警停机；（控制点和采样点）
立设备温度超限断电；
异常断电

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