产品别名 |
不锈钢光亮退火炉 |
面向地区 |
全国 |
可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态。
修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中。
例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉。
表面淬火件回火；焊件消除应力退火、时效等热处理工艺。加热方式有电加热、燃油、燃气、燃煤、热风循环。退火炉是一种新型换热设备。
炉门密封采用滚道式压紧和弹簧压紧自动机构密封该炉炉体部分采用耐火砖结构，炉膛密封性。在台车耐压部分采用高铝砖砌筑，下部均添保温砖保温。
退火炉燃烧系统：在油炉两侧各安装数只烧咀，热流在炉内往复循环，确保炉温均匀性。根据需要可选定自动型和半自动型。
排烟预热装置：在炉后上端安装了排烟预热装置，炉内的烟气通过预热器时，由风机送入冷风进行预热，再由管路送至烧咀进行助燃。
并在出口安装一只手动碟阀，该阀可调节炉内压力。广泛应用于化工、石油、食品、冶金、机械、轻工、电力、船舶、造纸、矿山、医药、集中供热等工业部门的加热、冷却、冷凝、蒸发等工艺过程中。
近期浏览
